通俗的定義為在正常狀況下，其應用功能不會失效。

想要達到這個目的，一般而言這層薄膜必須具有堅牢的附著力、很低的內應力、針孔密度很少、夠強的機械性能、均勻的膜厚、以及足夠的抗化學侵蝕性。

薄膜的特性主要受到沉積過程、成膜條件、接口層的形成和基材的影響，隨后的熱處理亦扮演重要角色。 

沉積的薄膜有內應力的存在，其來源為何? 

薄膜和基材之間的晶格失配 

薄膜和基材之間的熱膨脹系數差異 

晶界之間的互擠