分析現有光學真空鍍膜機比較片機構在使用過程中存在的問題。根據現代光學真空鍍膜機的發(fā)展趨勢和實際生產中急需解決的問題,通過多方面的研究分析,優(yōu)化設計新一代的鍍膜機比較片結構,解決影響光學薄膜質量和超多層精密光學薄膜鍍制的問題,以提高薄膜的監(jiān)控精度,實現系統(tǒng)的自動控制,提高光學真空鍍膜機生產效率,降低生產成本。使現代光學真空鍍膜機的結構配置及使用效果達到最佳。
從上世紀八十年代以來,全球光電科學技術發(fā)展與進步迅猛,我國研發(fā)光學真空鍍膜機設備,在引進消化吸收的基礎上,也迅速發(fā)展起來。最近二十多年,我國逐漸成為全球光學產品的加工基地,作為光學產品的關鍵工序,也是最后一道工序-- 鍍膜,要求越來越高,真空鍍膜機性能和配置也必然要得到加強,提高設備質量、完善設備性能、提高生產效率等問題就顯現出來,這就涉及到此類設備的改造、設計研發(fā),要求相關技術人員去解決。
真空鍍膜機比較片機構就是該類設備的必不可少的關鍵部件,高端配置的設備對比較片機構要求越來越高,它對鍍制多膜層的檢測和生產效率有著重要的不可替代的作用。
現有真空鍍膜機比較片機構 國內低端的真空鍍膜機,從發(fā)展之初到近10年左右,大多還沿用的該比較片結構,如圖1 所示。此比較片換位機構,通常由6 個獨立的直徑Φ22mm 的比較片組成。該機構主要由1 個托盤16、三個支撐桿110 及1 個比較片盤18 組成,三個支撐桿110 對托盤16起固定、支撐的作用,比較片盤18 靠齒輪嚙合把運動輸入使之旋轉撥片,三者配合就完成撥片換位動作。由于一般的鍍膜機真空室直徑尺寸都不大,整個機構的直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大,導致工件盤上可裝載的鍍制工件面積比較小,并且該機構只可放置6 個比較片13,直接影響生產效率。
該結構的特點是:結構簡單,加工制造方便,安裝實施方便易行。缺點:該結構直徑面積比較大,影響裝載工件的數量;比價片放置數量少,降低了生產效率;強度和剛度有限,又由于該結構完全暴露在真空室內,真空室內高溫濺射磨料的影響,使轉動平穩(wěn)性、靈活性一般,傳動位置重復的一致性誤差較大,清洗維護頻繁。
根據現有比較片結構在使用過程中暴露出的問題,對原有通用鍍膜機比較片結構進行多次的改進,通過設計可重疊放置比較片存儲筒,使比較片機構直徑所占面積減小,但放置的比較片數量增加到20 片左右, 整個機構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加較小工件鍍膜盤上裝載工件的數量,提高生產效率,還可以提高薄膜監(jiān)控的精度,并降低對硬件系統(tǒng)的要求,容易實現對系統(tǒng)的自動控制。
具體動作實施,改進后多片比較片機構的轉動,通過連接板23 和連接塊21 固定在真空室頂板上,比較片機構的旋轉運動,由旋轉密封軸把運動輸入真空室內的大齒輪,帶動小齒輪所在傳動軸24 的轉動,最終實現整個比較片機構的轉動。比較片切換比較片時,通過撥盤29 轉動一個工位,比較片存儲筒219 內落下一個比較片,到達預設的位置,同時,切換的比較片隨著工位轉動落在比較片接受筒212 內,每切換一次,撥動一個工位。其中,傳動軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座組成的傳動機構來完成撥盤轉動。
其特點是:(1)減小比較片機構直徑的面積,提高裝載鍍制工件的數量;(2) 增加比較片的數量,提高生產效率,提高薄膜監(jiān)控的精度,降低對硬件系統(tǒng)的要求,系統(tǒng)容易實現自動控制。缺點:該比較片結構直徑小而長(Φ89×370),影響其使用的強度和剛度;由于該結構暴露在高溫濺射磨料的真空室內,影響其轉動平穩(wěn)性、靈活性,且轉動位置重復的一致性較差,維護清洗頻繁費工。
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